羅茨真空泵是一種旋轉式容積真空泵。其結構形式是由羅茨鼓風機演變而來的。它于 1944 年首先出現于德國,是為適應在10 ~ 1000Pa 壓力范圍內具有大抽速的真空熔煉系統而作為機械增壓泵使用。
羅茨真空泵的兩個轉子是通過一對高精度齒輪來實現其相對同步運轉的。主動軸通過聯軸器與電機聯接。在傳動結構布置上主要有以下兩種:
其一是電動機與齒輪放在轉子的同一側如下圖(a) 所示。從動轉子由電動機端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉子軸的扭轉變形小,則兩個轉子之間的間隙不會因主動軸的扭轉變形大而改變,故使轉子之間的間隙在運轉過程中均勻。
這種傳動方式的最大缺點是:a. 主動軸上有三個軸承,增加了泵的加工和裝配難度,齒輪的拆裝及調整也不便; b. 整體結構不勻稱,泵的重心偏向電動機和齒輪箱一側。
另一種是電動機和傳動齒輪分別裝在轉子兩側,如下圖 (b) 所示。這種形式使泵的整體結構勻稱,但主動軸扭轉變形較大。為保證轉子在運轉過程中的間隙均勻,要求軸應有足夠的剛度,軸和轉子之間的聯接要緊固 (目前已有轉子與軸焊或鑄成一體的結構) 。這種結構拆裝都很方便,所以被廣泛采用。